Sputtered ohuen kalvon paineanturin edut

Abstrakti

Sputteroidut ohutkalvon paineanturit ovat laitteita, joita käytetään paineen mittaamiseen ja seuraamiseen eri sovelluksissa. Tässä artikkelissa keskustellaan sen työperiaatteesta, eduista ja sen ja paksun elokuvatekniikan välisestä eroista.

Sputteroitu ohutkalvon paineanturi

Sputteroidut ohutkalvon paineanturitovat saaneet merkittävää suosiota johtuen niiden eduista perinteisiin anturitekniikoihin nähden.

Sen tulevaisuus on lupaava jatkuvien tutkimus- ja kehityspyrkimysten kanssa. Jatkuvien edistysaskeleiden ansiosta niiden odotetaan olevan yhä merkittävämpi rooli monilla teollisuudenaloilla, kuten ilmailu-, alukset, rautatieliikenteen, autojen elektronisen stabiilisuusjärjestelmän (ESP) ja elektronisen hydraulisen jarrujärjestelmän (EHB) ja dieselin korkeapaineisen yhteisen radan ja muiden alojen, etenkin hydraulisten laitteiden ja ajoneuvojen, kuten nuolen, höyrypyörien, foorklifioiden ja maatalouden koneissa.

Tulevaisuudessa niiden odotetaan kehittyvän kompaktin koon, integroidun, digitaalisen ja älykkään suorituskyvyn ominaisuuksissa.

Sputteroitu ohuen kalvonpaine -anturin työperiaate

Sputteroitu ohutkalvopaineanturi hyödyntää ionisäteen ruiskuttamista ja etsaustekniikkaa ohuiden elokuvien vastusten luomiseen ruostumattomasta teräksestä valmistetulle joustavalle kalvolle. Nämä vastukset muodostavat Wheatstone -sillan. Kun nestepaine kohdistuu ruostumattomasta teräksestä valmistettuun kalvoon, se muodostuu, mikä johtaa vastusmuutokseen. Wheatstone -silta tuottaa sähköisen signaalin, joka on verrannollinen paineeseen. Signaalinkäsittely- ja virheenkorjausvaiheiden sarjan avulla tämä signaali muunnetaan tavanomaiseksi sähkölähtöksi, mikä mahdollistaa paineen mittauksen.

Sputtered ohuen kalvon paineanturin edut

Koska eristyskalvo ja substraatti, herkkä kalvo ja eristyskalvo talletetaan suoraan yhteen korkeaan tyhjiöympäristöön. Kalvon välikerrokset yhdistetään atomivoimalla, joka eliminoi liimanauhan aiheuttaman hiipimisen vaikutuksen. Tämän perusteella sputter -ohutkalvopaine -anturit ovat erinomaisia:

1. Korkea tarkkuus. Sputtering -laskeutumistekniikat mahdollistavat ohuiden kalvojen luomisen, jolla on tarkka paksuushallinta. Tämä mahdollistaa erittäin herkkien ja tarkkojen paineentunnistuselementtien valmistuksen. Ja sillä on hyvä toistettavuus ja korkea luotettavuus.
2. Voimakkaasti kestävä erittäin intensiteetin värähtely, isku ja korroosio ilman vuotoja. Koska ohutkalvon paineanturi hitsataan kokonaisuuteen laserhitsauksen tai plasmahitsauksen avulla, herkkä ydinrunko ja ruostumattomasta teräksestä valmistettu paineen liitokset hitsataan. Siksi ruiskutetuilla ohutkalvon paineantureissa ei ole "O" -kumitiivisteitä. Silikoniöljyn täyttöä ei ole, ja paineväliaine vaikuttaa suoraan korroosiokeskeiseen ruostumattomasta teräksestä valmistettuun ytimeen. Tuote kestää voimakkaan värähtelyn ja vaikutuksen, eikä vuotojen vaaraa ole mitään.
3. Hyvät lämpötilaominaisuudet. Ohut kalvopaineanturi omaksuu puolijohdeprosessitekniikkaa ja laserresistenssin leikkaustekniikkaa. Ne voivat toimia esimerkiksi laajalla lämpötila -alueilla -40 astetta… 125 astetta ja voimme mukauttaa yhden -55… 150 astetta.
4. Korkeataajuusvaste. Koska paineväliaine vaikuttaa suoraan korroosiokeskeiseen ruostumattomasta teräksestä valmistettuun ytimeen. Ei kalvoa ja täyttönestettä. Siksi mittaus on todellinen ja taajuusvaste on korkea.
5. Pieni koko. Anturimme ovat kompakteja ja kestäviä. Joissakin sovelluksissa, joilla on rajoitettu tila jäljellä, anturimme täyttävät haasteen.

Yksi huomionarvoinen asia on, että huono sidos ohutkalvoanturielementin ja porttimateriaalin välillä voi johtaa varhaiseen komponentin vikaantumiseen kestävyyspaineen pyöräilyn aikana. Se vaatii kalliita ruiskutuslaitteita ja puhtaan huoneen. Siksi vain johtavat valmistajat kykenevät käyttämään kasvejaan oikealla segregaatiolla ristikontaminaation välttämiseksi ja siten ylläpitämään korkean prosessin vakautta. Kun taas MacSensor tekee sen.

Suunnittelemme ja valmistamme ruiskutettuja ohutkalvopaineantureita, jotka perustuvat teollisuudenaloilla yleisiin ongelmiin, kuten vakava kavitaatio, vasara -ilmiö, korkea huippupaine, suuri tehonvaihtelu, suuret tärinän häiriöt ja muut kovat ympäristöt rakennuskoneiden hydraulijärjestelmässä. Tuotteemme voivat täyttää täysin näiden työolojen vaatimukset.

Ero paksun ja ohuen kalvoanturien välillä

Ero paksun kalvon ja ohutkalvoanturien välillä on käytetyn vastuskerroksen paksuus. Ohuen kalvoanturien paksuus on 0. 1 mikrometriä tai pienempiä, kun taas paksut kalvoanturit ovat tuhansia kertoja paksumpia kuin ohutkalvojen vastineet.

Ne ovat erilaisia ​​menetelmässä resistiivisen kalvon soveltamiseksi substraattiin. Ohkakalvonvastuksissa on metallinen kalvo, joka on talletettu tyhjössä eristevälille. Sitä vastoin paksut kalvovastukset luodaan ampumalla erikoistunut tahna, joka koostuu metallioksideista ja lasista, substraattiin.

Ohuet kalvoanturit tarjoavat merkittäviä etuja, kuten suurempi tarkkuus, parannettu lämpötilakerroin ja parannetun stabiilisuuden. Vaikka paksut kalvoanturit ovat edullisia sovelluksissa, joissa korkeat vaatimukset eivät ole tärkeitä, koska ne ovat kustannustehokkaampia.